1）用傳統的噴水室濕法處理空氣來處理新風中的化學物質。近幾年來日本開展了很多研究證明了其有效性。日本三機工業公司利用純水及自來水對 氣體的噴水處理進行了比較研究，認為自來水比純水的凈化率更高，這是由于水中 離子等的影響。

2）有殺菌作用的HEPA過濾器(殺菌酵素過濾囂)。過去采用金屬離子的毒性來殺菌，如銀型陽高于交換纖維制成的空氣過濾器(IEE—Ag)，現今可采用從生物體中提取的天然酵素(固定在纖維紙上，達到分子級的結合水平)將細菌的細胞壁溶解以達到殺菌的目的，是一種安全的滅菌措施，它防止了過濾器上微生物增殖所產生的二次污染。

3）UV光電子空氣凈化方法。這種方法不同于普通的靜電過濾器，該方法利用將紫外線照射在金屬膜層上產生光電效應，在空氣中產生電子和負離子使流經的污染物質荷電并被集塵捕集。目前在有限的小空間范圍內已有應用。

4）除海鹽粒子過濾器海鹽粒子的粒徑范圍為1-lO ，中位粒徑約為3-4 。沿海岸地區空氣中含鹽量平均達1 左右(一般地區低于該值)，臺風等強風作用下可達100 。這種狀況對微電子工廠不利?，F在有兩種措施：1)所采用的濾材即使在大量鹽分附著后不容易析出；2)在空調箱進入段處先設噴水段及檔水板，可先捕集90％的海鹽粒子，再經普通的空氣過濾器清除未被捕集的粒子。噴霧用水應直接排放出，不予回收。對于臨海設置的微電子工廠在空調凈化裝置中應予考慮。

5）智能型空氣離子凈化系統近幾年來歐洲開發了一種智能化凈化系統，如瑞土LK公司的IONAIR離子空氣智能化凈化系統，它利用離子發生工作單元的高壓電離原理，釋放出穩定的正負電氧離子族，帶電氧離子與VOC物質發生反應，將其分解成 和 ，同時帶電氧離子包裹并殺滅細菌，以達到去除臭味凈化空氣的目的，在這過程中，會產生少量 。為保證室內空氣質量處于***佳狀態，該系統還配有智能化控制系統，通過送風管上的風速、濕度和 傳感器及回風管和新風管中的空氣品質傳感器并能將檢測數據傳到電離控制器，以控制離子發生單元的工作強度，自動控制室內的空氣品質，同時這些數據通過傳送器和網絡，可以進行遠程監控

6）新型空氣吹淋室。傳統的吹淋室對人體吹淋停止后，小室內的含塵空氣有可能被帶入車間，新改進的吹琳室，具有快速自凈的功能，當停止吹淋氣流后，可部分轉換成頂部垂直氣流，這樣可使小室內空氣含塵量很快降低，達到自凈效果。

7）超薄型自凈裝置。